13. November 2019

Fotolithographie - LED-Gelblichtlösung für Reinräume und Halbleiterfertigung

In Reinräumen muss ein absoluter Schutz vor Verunreinigungen und Ablagerungen auf dem Produkt gewährleistet sein. Hier ist nicht nur der Mensch potenzieller Partikelträger, sondern auch die eingesetzten Leuchten müssen die geforderten Parameter und Hygienevorschriften einhalten und verschiedensten Klassifizierungen entsprechen. Dies gilt sowohl im medizinisch-pharmazeutischen Bereich als auch beim Einsatz in der Halbleiterfertigung.

[Bild: Lindner Group KG]

[Bild: Lindner Group KG]

Gelblicht spielt hier eine wichtige Rolle und ist bei den Lithographieprozessen in der Halbleiterfertigung essenziell. Mittels eines speziellen Verfahrens werden Strukturen auf Bauteilen, z. B. Wafern, angebracht. Dabei wird ein lichtempfindlicher Film, meist als Fotolack aufgebracht, strukturiert und mit Ätzverfahren in die darunterliegende Schicht übertragen. Unter herkömmlichem, weißem Licht mit Blauanteil würde sich der Fotolack innerhalb weniger Sekunden entwickeln und einen reproduzierbaren Lithographieprozess unmöglich machen.



Die Lindner Leuchtenfabrik entwickelt und fertigt entsprechend den besonderen Anforderungen in Reinräumen und in der Halbleiterfertigung individuelle Lichtlösungen mit maximalen Qualitätsansprüchen und Details, so verwendet Lindner z.B. zusätzliche, innenliegende, lichtdichte Endkappen und ausschließlich komplett durchgefärbte Konversionsprofile.

Die Lindner Teardropleuchtenserie Typ LFy ist sehr flexibel und wird je nach Wunsch den Anforderungen von Reinraumbereichen individuell angepasst. Klassifiziert mit ISO-Klasse 1 bietet sie einen optimalen Einsatz auch in sensibelsten Bereichen und kann in der Schutzart IP40 bis IP54 allseitig ausgeführt werden.

Um die Bandbreite der Anforderungen abzudecken, stehen drei verschiedene Basistypen zur Verfügung:

  • Die erste Wahl für die meisten Anwendungsfälle: Variante Y3 mit guter Filterwirkung und hoher Lichtausbeute dank eines durchgefärbten 3 mm Konversionsprofils.
  • Y9 ist wie der Typ Y3 mit einem durchgefärbten 3 mm Konversionsprofil ausgestattet, jedoch mit einer höheren Filterwirkung des Blaulichtanteils.
  • Die beste Abgrenzung mit Fokus aufein stabiles Farbspektrum bietet die Variante Y5. Hier emittieren speziell spezifizierte LEDs ein hart abgegrenztes Lichtspektrum, sodass keine zusätzliche Filterschicht benötigt wird. Die Lösung für höchst sensible Bereiche.

Der Einsatz von Gelblicht stellt aber auch in den quadratischen Reinraumleuchten Typ ISO-H, ISO-U (ISO-Klasse 2) sowie in den SH Leuchten (ISO-Klasse 1) kein Problem dar. Diese sind auf alle Deckensysteme anpassbar und bündig integriert. Auch bei den Abschlussmitteln steht eine große Auswahl zur Verfügung. Die einzelnen Komponenten können mit einem minimalen Montageaufwand jederzeit ausgetauscht werden, da bereits bei der Fertigung auf die Einhaltung des Zhaga-Standards geachtet wird.




 
 

Neue Stellenanzeigen

Seit 2002 vermittelt on-light JOBS - ON-LIGHT-jobs.com - Das Jobportal im Lighting Business!

Aktuelle Branchennews

Licht als Lernhilfe

Bedürfnisorientierte Beleuchtung in Schulen - ...

Lichtmanagementsysteme im Starterkit

Kompakte Pakete von Premium-Leuchten und smarter...

Der Influencer Mariano di Vaio wählt Slamp

Für den neuen Sitz der Gruppe MDV, der kürzlich...

Neue Lichtlinien für die Elmshorner „Gänge“

Grün zum Park, Blau zum Fluss - Die Stadt...

Licht vermeidet Stürze und fördert Aktivität

Studie belegt Wirksamkeit biodynamischer...

ORGATEC setzt 2020 aus

Trotz eines bereits im Frühjahr 2020 erreichten...

„Natur“ im Innenraum

Farbe als Konzept: Jenseits seiner akustischen...

SAM – Besucherzahl im Geschäft in Echtzeit regulieren

Das intelligente Store Access Management von...

CONVEO - Wirtschaftliches Beleuchtungssystem für Industriehallen

Beim Lichtbandsystem CONVEO von Waldmann für...

AKTUELLES IM FORUM

on-light Forum

Produkt des Monats

Anzeige

Produkt des Monats
Juli 2020

SIXTYSIX – Grenzenlose Lichtfreiheit



Projekt des Monats

Anzeige

Projekt des Monats
Juli 2020

Neue Direktion Köln - Einklang von Historie und moderner Architektur



Im Portrait

Im Portrait

Keine Leuchten von der Stange



Newsletter

 

 

ON-LIGHT | Licht im Netz®  —  Moritz-Walther-Weg 3  —  D-67365 Schwegenheim  —  info(at)on-light.de  —  www.on-light.de